應用場景：ASML EUV光刻機晶圓臺驅動

滾珠絲杠作用：控制晶圓臺的納米級移動，確保曝光精度。

技術參數：

• 直徑：16mm，導程：2mm（微導程設計）

• 精度等級：C0級（定位精度±0.001mm）

• 溫控要求：±0.1℃內（減少熱變形）

優勢：超高精度、抗振設計，匹配激光干涉儀閉環反饋系統。